沿面放電型發(fā)生器原理屬于電暈放電，其放電區(qū)發(fā)生在高壓電極邊緣表面，由高壓閃絡(luò)形成。沿面放電區(qū)空氣電暈?zāi)芰考校β拭芏容^高，需要良好的冷卻。

此型發(fā)生器有充惰性氣體氖（Ne）或（Ar）的玻璃放電管和陶瓷片兩種，其結(jié)構(gòu)簡圖如下：

充氣玻璃放電管發(fā)生器國外稱作臭氧燈，八十年代初外國遠洋食品冷藏船艙殺菌防霉就使用這種臭氧發(fā)生器。我國邯鄲、大連等船舶工業(yè)相關(guān)單位首先研制了這種產(chǎn)品，做成5g/h的發(fā)生器用于雞蛋、果蔬冷庫消毒與保鮮。由于結(jié)構(gòu)簡單、工藝要求低，我國很快發(fā)展了這種用于醫(yī)療行業(yè)和消毒柜的微型管式發(fā)生器，數(shù)量很大，價格便宜。但經(jīng)多年實踐檢驗，該種發(fā)生器大多數(shù)壽命極短，一般連續(xù)工作幾百小時后產(chǎn)生的臭氧量即所剩無幾了。

臭氧陶瓷片資料見于七十年代日本專利文獻，八十年代鞍山靜電技術(shù)研究院與日方合作引進生產(chǎn)技術(shù)，北方交通大學(xué)與重慶師范學(xué)院同期也合作研制過同類陶瓷片臭氧產(chǎn)品。九十年代，一批公司推出幾種規(guī)格臭氧陶瓷片，并有以“等離子體發(fā)生器”冠名。陶瓷片結(jié)構(gòu)簡單，工藝標(biāo)準(zhǔn)化后價格也會比較低廉，其壽命比充氣玻璃管要長。鞍山靜電研究院與成都正邦公司的產(chǎn)品采用地極被封閉，陶瓷、高壓極防氧化涂膜工藝，對提高質(zhì)量、延長壽命大有好處。

沿面放電器件作為醫(yī)療、家電產(chǎn)品微型發(fā)生器的臭氧源具有很大優(yōu)勢，其電耗在40kw·h/kgO₃上下，由于產(chǎn)量在克級以下，電耗高點影響不大。作為工業(yè)應(yīng)用產(chǎn)品困難很多，電耗將更高。

沿面放電器件產(chǎn)生臭氧濃度低，作水凈化應(yīng)用的臭氧源較為困難。