吸附和分解是輔助臭氧破壞可能采用的另一項技術，也就是在氣體循環過程中。硅膠剛活化時，具有從不穩定氣體中固著臭氧的特性。此種性能的數據概括于圖6-8。理論接觸時間等于8~10s，同時硅膠逐漸失效。經若干次熱再生之后，硅膠的臭氧分解性能被降低。分子篩含有類似硅膠性能的萬分，不過失效比硅膠慢一些。而且，在延長運行時間后活化點的失活也不是不可逆的。

關于吸附-分解技術操作的嚴格條件，包括再生期間所吸附臭氧的熱分解，需要進一步研究。有關吸附材料反復熱再生的磨耗和退化方面更要特別注意研究。

上述這些方法的主要目的是列出能通過吸附從尾氣中濃縮臭氧的接觸材料，并能將比原來尾氣流量體積減少的氣體通過加熱使之熱分解和（或）催化分解。有關這方面主題的資料早有發表，不過，進一步研究一直在進行。最有前途的材料是吸附分子篩。

然而，某些臭氧設備制造廠家關心臭氧吸附到固體表面上可能造成安全問題。這是因為除了臭氧之外揮發有機物也可能濃集在吸附劑表面。如果臭氧和有機物的濃度變得相當高，所吸附有機物的氧化可能同所吸附臭氧的分解一起強烈發生。由于這些可能性，制造廠家建議：先破壞接觸器尾氣中的臭氧，然后處理過的尾氣再循環通過吸附劑。