業(yè)主提供的液氧從液氧儲(chǔ)槽中釋放，經(jīng)過(guò)汽化器、減壓閥變成常溫氣態(tài)氧氣，與補(bǔ)氮系統(tǒng)對(duì)接，補(bǔ)加一定量的氮?dú)猓ɑ驂嚎s空氣），然后進(jìn)入粉塵過(guò)濾器，成為合格氣源，輸送到臭氧發(fā)生器。

合格氣源經(jīng)流量調(diào)節(jié)閥、減壓閥、壓力、流量計(jì)等進(jìn)入臭氧放電室。在其內(nèi)部分氧氣通過(guò)中頻高壓放電變成臭氧，產(chǎn)品氣體經(jīng)溫度、壓力、流量監(jiān)測(cè)調(diào)節(jié)后由臭氧出氣口產(chǎn)出。

臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的熱量需要釋放出來(lái)，其冷卻系統(tǒng)通過(guò)流過(guò)放電管外壁的冷卻水來(lái)實(shí)現(xiàn)。直接通入臭氧發(fā)生器的冷卻水要求水質(zhì)較高，當(dāng)冷卻水水質(zhì)不好的時(shí)候，通常采用板式換熱系統(tǒng)。

氮?dú)庋a(bǔ)加系統(tǒng)由空壓機(jī)、冷凍式干燥機(jī)、吸附式干燥機(jī)、油水分離器、空氣過(guò)濾器等組成。